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水處理技術(shù)

電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水過濾設(shè)備知識整理

更新日期:2015年12月2日 大字 小字
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  電子半導(dǎo)體行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):
  我公司電子級工業(yè)超純水設(shè)備出水水質(zhì)完全符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標(biāo)準(zhǔn))、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。


  電子工業(yè)對水質(zhì)的要求:
  微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。

  應(yīng)用場合:
  ☆ 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
  ☆ 超純材料和超純化學(xué)試劑;
  ☆ 實驗室和中試車間;
  ☆ 汽車、家電表面拋光處理;
  ☆ 光電產(chǎn)品;
  ☆ 其他高科技精微產(chǎn)品;

工業(yè)超純水設(shè)備

                                   最新工藝流程:


  典型電子級超純水制備工藝:    
     ☆預(yù)處理----反滲透----水箱----陽床----陰床----混合床----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----精制混床----微孔膜過濾器----用水對象
     ☆預(yù)處理----一級反滲透----pH調(diào)節(jié)裝置----中間水箱----二級反滲透----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象
     ☆預(yù)處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI超純水設(shè)備----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象        

  新工藝
     ☆預(yù)處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI超純水設(shè)備----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過濾器----用水對象